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窒化アルミニウム基板上へのダイヤモンドの堆積

中下, 俊夫; 石田, 佐代子; 山本, 誠, 1998.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.38 No.1(1998)). w. <TC20003499>
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窒化アルミニウム基板上へのダイヤモンドの堆積

中下, 俊夫; 石田, 佐代子; 山本, 誠, 1998.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.38 No.1(1998)). w. <TC20003499>
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kj00000121097.pdf

書誌詳細

タイトル 窒化アルミニウム基板上へのダイヤモンドの堆積
タイトル(その他) Deposition of Diamond Thin Films on AlN Substrates
作成者 中下, 俊夫
ナカシタ, トシオ
Nakashita, Toshio
作成者 石田, 佐代子
イシダ, サヨコ
Ishida, Sayoko
作成者 山本, 誠
ヤマモト, マコト
Yamamoto, Makoto
公開者 東海大学工学部
公開者 School of Engineering, Tokai University
公開者 東海大学出版会
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.38 No.1(1998) <TB20000295>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 38
号 1
開始終了ページ 73-79
発行日 1998.10.30
主題 Diamond Synthesis
主題 Hot Filament CVD
主題 ALN Substrate
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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