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	水素ガスによる石英ガラスのエッチング速度松下, 純一, 1997.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996)). w. <TC20003405> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

水素ガスによる石英ガラスのエッチング速度松下, 純一, 1997.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996)). w. <TC20003405> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

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kj00000120985.pdf

タイトル	水素ガスによる石英ガラスのエッチング速度
タイトル(その他)	Etching Rate of Quartz Glass with Hydrogen Gas
作成者	松下, 純一マツシタ, ジュンイチ Matsushita, Jun-ichi
公開者	東海大学工学部
公開者	School of Engineering, Tokai University
公開者	東海大学出版会
掲載巻号	東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996) <TB20000292>
ISSN	24343633
雑誌名	東海大学紀要. 工学部
巻次等	36
号	2
開始終了ページ	77-81
発行日	1997.03.31
主題	Quartz Glass
主題	Hydrogen Gas
主題	Etching
主題	Reaction
主題	Flow Rate
資料種別(NIIタイプ)	紀要論文
フォーマット	PDFファイル