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ZnO薄膜光導波路中の光伝搬損失機構および三次元光導波路の試作

若木, 守明, 1995.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995)). w. <TC20003327>
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ZnO薄膜光導波路中の光伝搬損失機構および三次元光導波路の試作

若木, 守明, 1995.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995)). w. <TC20003327>
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kj00000120889.pdf

書誌詳細

タイトル ZnO薄膜光導波路中の光伝搬損失機構および三次元光導波路の試作
タイトル(その他) Propagation Loss Mechanism in Optical Waveguides of ZnO Thin Film and Fabrication of 3-D Optical Waveguides
作成者 若木, 守明
ワカキ, モリアキ
Wakaki, Moriaki
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995) <TB20000289>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 35
号 1
開始終了ページ 117-126
発行日 1995.10.30
主題 ZnO
主題 Optical waveguide
主題 KrF excimer laser
主題 Dry etching method
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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