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低エネルギーイオンビーム加工の表面粗さに関する研究

井上, 徳之; 志真, 俊夫, 1992.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992)). w. <TC20003176>
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低エネルギーイオンビーム加工の表面粗さに関する研究

井上, 徳之; 志真, 俊夫, 1992.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992)). w. <TC20003176>
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kj00000120702.pdf

書誌詳細

タイトル 低エネルギーイオンビーム加工の表面粗さに関する研究
タイトル(その他) A Study on Surface Roughness Generated by Low Energy Ion-Beam Machining
作成者 井上, 徳之
イノウエ, ノリユキ
Inoue, Noriyuki
作成者 志真, 俊夫
シマ, トシオ
Shima, Toshio
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992) <TB20000283>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 32
号 1
開始終了ページ 287-292
発行日 1992.10.30
主題 Ion-beam machining
主題 ion sputtering
主題 vias voltage method
主題 argon ion
主題 surface roughness
主題 block gauge
主題 mirror finish
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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