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イオンビームアシスト蒸着法によるA1Nx膜の製作

岩瀬, 満雄, 1992.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992)). w. <TC20003150>
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イオンビームアシスト蒸着法によるA1Nx膜の製作

岩瀬, 満雄, 1992.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992)). w. <TC20003150>
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kj00000120676.pdf

書誌詳細

タイトル イオンビームアシスト蒸着法によるA1Nx膜の製作
タイトル(その他) Fabrication of A1Nx Films by Ion-Beam-Assisted Deposition
作成者 岩瀬, 満雄
イワセ, ミツオ
Iwase, Mitsuo
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.1(1992) <TB20000283>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 32
号 1
開始終了ページ 29-37
発行日 1992.10.30
主題 Ion-beam-assisted deposition
主題 Aluminum-nitride
主題 Aluminum oxynitride
主題 FTIR
主題 ESCA
主題 Refractive index
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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