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書誌詳細

	光導波路用スパッタ成膜ZnO薄膜の構造評価と光学的性質石川, 進太郎; 若木, 守明; 室谷, 裕志, 1992.03.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.31 No.2(1991)). w. <TC20003146> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

光導波路用スパッタ成膜ZnO薄膜の構造評価と光学的性質石川, 進太郎; 若木, 守明; 室谷, 裕志, 1992.03.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.31 No.2(1991)). w. <TC20003146> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

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kj00000120666.pdf

タイトル	光導波路用スパッタ成膜ZnO薄膜の構造評価と光学的性質
タイトル(その他)	Structure Characterization and Optical Properties of ZnO Thin Films for Light Waveguide Deposited by RF Sputtering Method
作成者	石川, 進太郎イシカワ, シンタロウ Ishikawa, Shintaro
作成者	若木, 守明ワカキ, モリアキ Wakaki, Moriaki
作成者	室谷, 裕志ムロタニ, ヒロシ Murotani, Hiroshi
公開者	東海大学工学部
掲載巻号	東海大学紀要. 工学部. Vol.31 No.2(1991) <TB20000282>
ISSN	24343633
雑誌名	東海大学紀要. 工学部
巻次等	31
号	2
開始終了ページ	197-208
発行日	1992.03.30
主題	ZnO
主題	Optical waveguide
主題	RF sputtering
主題	XRD
主題	SEM
主題	Grain size
主題	C-axis orientation
主題	Urbach constant Packing density
主題	refractive index
主題	Propagating attenuation constant
資料種別(NIIタイプ)	紀要論文
フォーマット	PDFファイル